臭氧与紫外线灯管管照射杀菌比较：
紫外线灯管以光波辐射作用杀菌，只有照射到的位置且达到照射强度标准才有杀菌效果。食品加工车间很高、很大，照射强度与距离平方成反比，强度不够，照射又有很大死角。臭氧为气体，扩散性好，*，浓度均匀。紫外线灯管杀菌在相对湿度60%以上时效果急剧下降，80%湿度上时反可诱使细菌复活。臭氧则相反，湿度越高杀菌效果越好，对食品行业80%-90%高湿环境特别适合。
食品加工车间安装臭氧设备所需投资与紫外线灯管相当(按16-18m3装一只30W紫外线灯管设计标准)，而运行费用由于臭氧设备省电、寿命长而大大降低，对于新建车间更为经济。
食品行业如每天下班后消毒工作服，在20m2封闭房间内挂上几十件工作服，在地上洒些水。如利用3g/h臭氧发生器开机3~4小时即可达到8~10PPM臭氧浓度取得杀灭率85%以上的消毒效果。把工作服挂在臭氧杀菌车间也有消毒作用，效果因浓度较低而差一些。
虽然臭氧是强臭氧剂，但由于在空气中应用浓度与对表面氧化要求相比还是很低的，不足以造成明显损害。实践证明，应用多年的加工车间、冷库，均未发现设备、装置受损明显的情况，橡胶制品除处。由于水处理应用臭氧浓度高，接触臭氧部分的材料应具有防氧化能力。
